2015年
成立時(shí)間
45445.54萬元
注冊資本
江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司（簡稱“微導(dǎo)納米”，股票代碼688147.SH）成立于2015年12月，是一家面向全球的半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體高端微納裝備制造商。
公司形成了以原子層沉積（ALD）技術(shù)為核心，CVD等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系，專注于先進(jìn)微米級、納米級薄膜設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與應(yīng)用。公司業(yè)務(wù)涵蓋光伏、LED、集成電路，及MEMS等泛半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域，以及新能源和柔性電子領(lǐng)域；主要產(chǎn)品為應(yīng)用于光伏電池、硅基微顯示、邏輯芯片、存儲芯片、化合物半導(dǎo)體和3D封裝等半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體的專用設(shè)備和成套技術(shù)，以及應(yīng)用于柔性電子、新一代高效太陽能電池整線的量產(chǎn)解決方案。2022年12月23日，公司成功登陸上交所科創(chuàng)板。
自成立以來，公司通過不斷吸納國內(nèi)外優(yōu)秀人才和保持高水平研發(fā)投入，已在微米級、納米級薄膜沉積核心技術(shù)領(lǐng)域具有豐富的技術(shù)積累。公司產(chǎn)品用于光伏電池片生產(chǎn)過程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，具備優(yōu)良的產(chǎn)能提升能力與產(chǎn)品性能，在保障光電轉(zhuǎn)換效率的同時(shí)，有效幫助下游電池片廠商大幅降低了設(shè)備投資額與生產(chǎn)消耗成本。
在此基礎(chǔ)上，公司繼續(xù)深化開發(fā)對技術(shù)水平和工藝要求更高的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，是成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備公司，設(shè)備總體表現(xiàn)和工藝關(guān)鍵性能參數(shù)達(dá)到國際同類水平，并已獲得客戶重復(fù)訂單認(rèn)可。
公司也是國內(nèi)能在短期內(nèi)快速反饋并協(xié)助客戶解決產(chǎn)線上技術(shù)問題的專用設(shè)備廠商之一，具備承擔(dān)下一代光伏電池設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的技術(shù)儲備和人才基礎(chǔ)。公司將持續(xù)圍繞市場需求，深化自主創(chuàng)新，加快核心技術(shù)攻關(guān)，進(jìn)一步拓展并薄膜沉積技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域，推動高端技術(shù)裝備的國產(chǎn)化、產(chǎn)業(yè)化，力爭成為世界微納制造裝備領(lǐng)軍企業(yè)。
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